大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-11-01 | I820496 | 發明 | 靜電卡盤及半導體工藝設備 |
| 2023-11-01 | I820370 | 發明 | 半導體設備的介電窗的清洗方法以及相關半導體加工設備 |
| 2023-10-21 | I819727 | 發明 | 晶圓清洗設備及其晶圓卡盤、晶圓清洗方法 |
| 2023-10-21 | I819294 | 發明 | 半導體加工設備及其磁控管機構 |
| 2023-10-11 | I818507 | 發明 | 半導體製程設備及其承載裝置 |
| 2023-10-01 | I817738 | 發明 | 半導體製程設備及其晶圓支撐結構 |
| 2023-10-01 | I817683 | 發明 | 半導體製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法 |
| 2023-10-01 | I817557 | 發明 | 半導體製程設備及其混合進氣裝置 |
| 2023-09-11 | I815378 | 發明 | 半導體加工設備的物料調度方法和裝置 |
| 2023-09-11 | I815264 | 發明 | 半導體製程設備中的溫度控制裝置及方法 |