大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-11-21 | I823533 | 發明 | 電源組件、等離子體浸沒離子注入設備及方法 |
| 2023-11-21 | I823373 | 發明 | 顆粒物清潔度檢測方法 |
| 2023-11-11 | I822590 | 發明 | 晶圓放置狀態檢測方法、半導體製程腔室和設備 |
| 2023-11-11 | I822325 | 發明 | 靜電卡盤及半導體加工設備 |
| 2023-11-11 | I822251 | 發明 | 半導體腔室及半導體制程設備 |
| 2023-11-11 | I821858 | 發明 | 遮蔽裝置和半導體製程設備 |
| 2023-11-11 | I821648 | 發明 | 半導體設備中的加熱裝置及半導體設備 |
| 2023-11-01 | I821080 | 發明 | 半導體腔室 |
| 2023-11-01 | I820987 | 發明 | 半導體製程配方獲取方法、系統及半導體製程設備 |
| 2023-11-01 | I820656 | 發明 | 多個製程腔室壓力的控制方法及半導體製程設備 |