大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-10-11 | I858215 | 發明 | 清洗裝置 |
| 2024-10-01 | I857627 | 發明 | 半導體製程設備及其製程腔室和托盤的檢測方法 |
| 2024-10-01 | I857458 | 發明 | 靜電卡盤裝置和溫度控制方法 |
| 2024-10-01 | I857372 | 發明 | 製程腔室 |
| 2024-09-21 | I856603 | 發明 | 半導體製程腔室及其上電極結構 |
| 2024-09-21 | I856558 | 發明 | 晶圓校準裝置及腔室、半導體製程設備及校準方法 |
| 2024-09-21 | I856377 | 發明 | 半導體製程設備及其阻抗匹配方法 |
| 2024-09-11 | I855758 | 發明 | 製程腔室、半導體製程設備及製程方法 |
| 2024-09-11 | I855649 | 發明 | 磁控管裝置及磁控濺射設備 |
| 2024-08-21 | I853309 | 發明 | 下射頻電源的功率控制方法和裝置、半導體製程設備 |