大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-05-01 | I841084 | 發明 | 一種任務調度方法和半導體製程設備 |
| 2024-05-01 | I840817 | 發明 | 半導體製程設備的告警方法和半導體製程設備 |
| 2024-04-21 | I840281 | 發明 | 晶圓承載裝置及其調節機構、半導體製程設備 |
| 2024-04-21 | I840263 | 發明 | 半導體製程設備 |
| 2024-04-21 | I839941 | 發明 | 半導體腔室 |
| 2024-04-01 | I838177 | 發明 | 進氣組件、製程腔室及半導體製程設備 |
| 2024-03-21 | I836514 | 發明 | 製備金屬薄膜的物理氣相沉積方法 |
| 2024-03-21 | I836483 | 發明 | 半導體製程設備及其運動部件的控制方法和裝置 |
| 2024-03-21 | I836411 | 發明 | 半導體腔室及半導體設備 |
| 2024-02-21 | I833449 | 發明 | 靜電托盤及基座 |