大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料

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公告日 公告號 專利類別 專利名稱
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2023-07-11 I808865 發明 半導體清洗設備及其晶圓翻轉裝置
2023-07-11 I808576 發明 靜電卡盤及半導體加工設備
2023-07-11 I808476 發明 機械手