大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-01-21 | I830499 | 發明 | 晶圓清洗設備中清洗液溫度的控制裝置及晶圓清洗設備 |
| 2024-01-21 | I830444 | 發明 | 半導體製程設備及抓取裝置 |
| 2024-01-21 | I830432 | 發明 | 製程腔室、半導體製程設備和半導體製程方法 |
| 2024-01-21 | I830410 | 發明 | 半導體製程設備及晶圓狀態監測方法 |
| 2024-01-21 | I830326 | 發明 | 目標氣體含量控制方法和半導體製程設備 |
| 2024-01-21 | I830011 | 發明 | 薄膜製備方法 |
| 2024-01-01 | I828498 | 發明 | 製程腔室組件、半導體製程設備及其方法 |
| 2024-01-01 | I828481 | 發明 | 半導體製程設備及其晶圓傳輸系統 |
| 2024-01-01 | I828437 | 發明 | 半導體設備的片舟暫存裝置及半導體設備 |
| 2024-01-01 | I828169 | 發明 | 磁控濺射組件、磁控濺射設備及磁控濺射方法 |