大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-08-21 | I813453 | 發明 | 托架、半導體腔室及半導體製程設備 |
| 2023-08-21 | I813373 | 發明 | 半導體製程腔室 |
| 2023-08-21 | I813333 | 發明 | 表面活性劑及其製備方法、陶瓷件清洗方法 |
| 2023-08-21 | I813045 | 發明 | 半導體製程設備及其法拉第杯 |
| 2023-08-21 | I813037 | 發明 | 阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半導體製程設備 |
| 2023-08-11 | I812073 | 發明 | 上電極電源功率調節方法和半導體製程設備 |
| 2023-08-11 | I811578 | 發明 | 等離子體系統 |
| 2023-07-21 | I810071 | 發明 | 金屬化合物薄膜的製備方法 |
| 2023-07-21 | I809611 | 發明 | 擋環元件、半導體腔室及其清理方法 |
| 2023-07-21 | I809566 | 發明 | 製程腔室及半導體製程設備 |