大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-08-21 | I853230 | 發明 | 卡盤裝置及半導體加工設備 |
| 2024-08-11 | I852839 | 發明 | 半導體製程設備的進氣系統、半導體製程設備及進氣方法 |
| 2024-08-11 | I852451 | 發明 | 發射率測量裝置及方法、半導體加工設備及紅外測溫方法 |
| 2024-08-01 | I851307 | 發明 | 晶圓承載裝置和半導體製程設備 |
| 2024-08-01 | I851240 | 發明 | 半導體製程設備及校準裝置 |
| 2024-08-01 | I851219 | 發明 | 半導體熱處理設備及其控制方法 |
| 2024-08-01 | I851092 | 發明 | 半導體加工設備 |
| 2024-08-01 | I850873 | 發明 | 半導體製程腔室的冷卻裝置及半導體製程腔室 |
| 2024-08-01 | I850695 | 發明 | 用於產生等離子體的線圈裝置及半導體製程設備 |
| 2024-07-01 | I847611 | 發明 | 抽真空系統、半導體製程設備及其抽真空方法 |