大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 相關專利權資料
總計 104 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-01-01 | I828146 | 發明 | 陶瓷件清洗方法 |
| 2024-01-01 | I827920 | 發明 | 磁控管旋轉升降機構及磁控濺射設備 |
| 2023-12-21 | I827506 | 發明 | 承載件和半導體製程設備 |
| 2023-12-21 | I827403 | 發明 | 管路控溫設備和管路控溫方法 |
| 2023-12-21 | I827326 | 發明 | 半導體製程設備以及晶圓位置狀態的監測方法 |
| 2023-12-21 | I827210 | 發明 | 半導體熱處理設備及其製程腔室內壓力的控制方法 |
| 2023-12-21 | I827177 | 發明 | 製程腔室和晶圓加工方法 |
| 2023-12-21 | I826742 | 發明 | 濺射裝置 |
| 2023-12-01 | I824691 | 發明 | 半導體熱處理設備的氣體噴射裝置及半導體熱處理設備 |
| 2023-12-01 | I824471 | 發明 | 等離子體增強原子層沉積設備及方法 |