弘塑科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 20 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-03-01 | I917228 | 發明 | 晶圓乾燥裝置及其操作方法 |
| 2026-02-11 | M680147 | 新型 | 濕式光阻去除系統 |
| 2026-01-01 | I910857 | 發明 | 液體供應系統和單晶圓處理設備 |
| 2024-11-11 | I861585 | 發明 | 具備浸泡與清洗蝕刻功能的單晶圓旋轉清洗設備 |
| 2024-10-11 | I858543 | 發明 | 製程液體供應系統及其控制方法和單晶圓處理設備 |
| 2024-08-01 | M658807 | 新型 | 用於半導體基板的噴灑裝置及噴灑系統 |
| 2024-07-11 | M657863 | 新型 | 具備回收裝置之基板處理設備 |
| 2024-07-11 | M657785 | 新型 | 基板處理設備及其清洗裝置 |
| 2024-03-21 | M653041 | 新型 | 流體流量校正系統 |
| 2024-03-01 | I834210 | 發明 | 具限位功能之晶圓承載裝置及其載晶卡匣裝置 |