弘塑科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 36 筆資料

資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。


公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2026-08-01 I934782 發明 製程液體供應系統及其控制方法
2026-07-21 M685584 新型 基板處理設備
2026-07-01 I931203 發明 噴嘴組件和基板處理裝置
2026-06-11 M684058 新型 互鎖機構和管路系統
2026-06-11 M684163 新型 旋轉卡盤和基板處理設備
2026-05-01 202619010 發明 晶圓框治具和晶圓表面檢測方法
2026-04-21 I923129 發明 晶圓框治具和晶圓表面檢測方法
2026-04-01 I920677 發明 氣動控制噴嘴組件、基板處理裝置及其控制方法
2026-03-01 I917228 發明 晶圓乾燥裝置及其操作方法
2026-02-16 202606811 發明 氣動控制噴嘴組件、基板處理裝置及其控制方法