弘塑科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 31 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
2026-05-01 202619010 發明 晶圓框治具和晶圓表面檢測方法
2026-04-21 I923129 發明 晶圓框治具和晶圓表面檢測方法
2026-04-01 I920677 發明 氣動控制噴嘴組件、基板處理裝置及其控制方法
2026-03-01 I917228 發明 晶圓乾燥裝置及其操作方法
2026-02-16 202606811 發明 氣動控制噴嘴組件、基板處理裝置及其控制方法
2026-02-11 M680147 新型 濕式光阻去除系統
2026-01-01 I910857 發明 液體供應系統和單晶圓處理設備
2024-11-11 I861585 發明 具備浸泡與清洗蝕刻功能的單晶圓旋轉清洗設備
2024-10-11 I858543 發明 製程液體供應系統及其控制方法和單晶圓處理設備
2024-08-16 202433627 發明 製程液體供應系統及其控制方法和單晶圓處理設備