弘塑科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 17 筆資料

資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。

公告日 公告號 專利類別 專利名稱
2023-11-01 I820940 發明 噴灑與清洗系統、基板處理裝置及其噴嘴的清洗方法
2023-10-21 M647670 新型 晶圓清洗設備
2023-10-21 M647657 新型 晶圓濕式處理與清洗系統
2023-07-21 I810027 發明 避免堵塞並提升金屬回收效率的晶圓表面清洗系統
2023-07-21 I809901 發明 整合式晶圓解鍵合與清洗設備及解鍵合與清洗方法
2023-07-11 M643772 新型 防噴濺液體供應裝置及單晶圓處理設備
2023-07-11 I808341 發明 基板固定裝置