弘塑科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 20 筆資料
資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-02-01 | M651204 | 新型 | 晶圓清洗系統 |
| 2023-12-11 | I826286 | 發明 | 防噴濺液體供應裝置及單晶圓處理設備 |
| 2023-11-11 | I822605 | 發明 | 多功能單晶圓浸泡旋轉清洗裝置及晶圓處理方法 |
| 2023-11-01 | I820940 | 發明 | 噴灑與清洗系統、基板處理裝置及其噴嘴的清洗方法 |
| 2023-10-21 | M647670 | 新型 | 晶圓清洗設備 |
| 2023-10-21 | M647657 | 新型 | 晶圓濕式處理與清洗系統 |
| 2023-07-21 | I810027 | 發明 | 避免堵塞並提升金屬回收效率的晶圓表面清洗系統 |
| 2023-07-21 | I809901 | 發明 | 整合式晶圓解鍵合與清洗設備及解鍵合與清洗方法 |
| 2023-07-11 | M643772 | 新型 | 防噴濺液體供應裝置及單晶圓處理設備 |
| 2023-07-11 | I808341 | 發明 | 基板固定裝置 |