天虹科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 30 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2023-11-01 | I820472 | 發明 | 物理氣相沉積腔體的暖機方法 |
| 2023-10-21 | M647640 | 新型 | 腔體內集塵裝置 |
| 2023-10-21 | I819616 | 發明 | 具有可動式吸附模組的鍵合機台 |
| 2023-10-21 | I819611 | 發明 | 適用於翹曲基板的鍵合機台 |
| 2023-10-11 | I818552 | 發明 | 可提高對位準確度的鍵合機台 |
| 2023-09-11 | I815135 | 發明 | 開合式遮蔽構件及具有開合式遮蔽構件的薄膜沉積機台 |
| 2023-08-11 | I812550 | 發明 | 鍵合基板的分離方法 |
| 2023-08-11 | I811980 | 發明 | 具有調整水平功能的鍵合機台 |
| 2023-08-11 | I811691 | 發明 | 磁場分布調整裝置、可調整磁場分布的沉積設備及其沉積方法 |
| 2023-07-01 | I807749 | 發明 | 具有水平校正功能的鍵合機台 |