天虹科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 30 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-11-21 | I863654 | 發明 | 具有晶圓片定位功能的晶圓片承載裝置 |
| 2024-11-21 | I863492 | 發明 | 一種去除SiC晶圓表面碳析出的方法 |
| 2024-11-21 | I863485 | 發明 | 腔體內微粒去除方法 |
| 2024-11-21 | I863231 | 發明 | 一種以電漿輔助的製程替代週期性保養的方法 |
| 2024-11-11 | I862149 | 發明 | 板體鍵合方法 |
| 2024-11-11 | I862096 | 發明 | 低濃度臭氧氣體供應裝置 |
| 2024-08-11 | M659171 | 新型 | 發光裝置及波長轉換裝置 |
| 2024-05-21 | M655959 | 新型 | 批量化基板原子層沉積裝置 |
| 2024-05-21 | M655800 | 新型 | 具有加熱功能的晶圓片承載裝置 |
| 2024-05-21 | M655684 | 新型 | 二合一的光電輔助製程腔體構造 |