天虹科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 26 筆資料

資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。


公告日 公告號 專利類別 專利名稱
2024-11-11 I862149 發明 板體鍵合方法
2024-11-11 I862096 發明 低濃度臭氧氣體供應裝置
2024-08-11 M659171 新型 發光裝置及波長轉換裝置
2024-05-21 M655959 新型 批量化基板原子層沉積裝置
2024-05-21 M655800 新型 具有加熱功能的晶圓片承載裝置
2024-05-21 M655684 新型 二合一的光電輔助製程腔體構造
2024-05-21 I843296 發明 低功率電漿的監控方法
2024-03-11 M652536 新型 用於負壓吸附的載盤、負壓吸附的承載裝置以及剝離平台
2024-02-21 M651950 新型 具有晶圓片定位功能的晶圓片承載裝置
2024-02-21 M651821 新型 板體冷卻裝置以及具有板體冷卻裝置的剝離平台