辛耘企業股份有限公司 相關專利權資料
總計 12 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-08-21 | I853732 | 發明 | 可旋轉升降之基板處理裝置 |
| 2024-08-21 | I853665 | 發明 | 卡匣運送裝置 |
| 2024-06-21 | I846270 | 發明 | 注液裝置 |
| 2024-04-11 | I838859 | 發明 | 基板處理裝置排氣方法 |
| 2024-03-21 | I836549 | 發明 | 基板清洗設備及基板清洗設備的基板傳送方法 |
| 2024-02-01 | M651261 | 新型 | 濕製程基板處理裝置 |
| 2024-02-01 | M651195 | 新型 | 具有側吸結構之基板處理裝置 |
| 2023-11-21 | I823492 | 發明 | 單晶圓濕製程裝置及異常處理方法 |
| 2023-11-21 | I823303 | 發明 | 具有防止掉落功能的升降設備與第一制動裝置 |
| 2023-10-21 | I819984 | 發明 | 半導體製程的晶圓移載裝置及晶圓移載方法 |