辛耘企業股份有限公司 相關專利權資料
總計 21 筆資料
資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2024-02-01 | 202405930 | 發明 | 單晶圓濕製程裝置及異常處理方法 |
| 2024-02-01 | M651195 | 新型 | 具有側吸結構之基板處理裝置 |
| 2024-02-01 | M651261 | 新型 | 濕製程基板處理裝置 |
| 2023-11-21 | I823303 | 發明 | 具有防止掉落功能的升降設備與第一制動裝置 |
| 2023-11-21 | I823492 | 發明 | 單晶圓濕製程裝置及異常處理方法 |
| 2023-10-21 | I819984 | 發明 | 半導體製程的晶圓移載裝置及晶圓移載方法 |
| 2023-10-01 | 202337810 | 發明 | 具有防止掉落功能的升降設備與第一制動裝置 |
| 2023-10-01 | 202339101 | 發明 | 晶圓載台 |
| 2023-09-01 | 202335155 | 發明 | 晶圓製程裝置 |
| 2023-08-11 | I812008 | 發明 | 晶圓製程裝置 |