三和技研股份有限公司 相關專利權資料

總計 17 筆資料

資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。


公告日 公告號 專利類別 專利名稱
2024-11-21 M663331 新型 具校正模組的基板處理設備
2024-11-21 M663305 新型 晶圓載具倉儲系統
2024-11-21 M663301 新型 基板傳送機械手臂
2024-11-11 M662927 新型 機械手臂
2024-11-11 M662906 新型 具氣壓調節模組的基板處理設備
2024-10-11 M661816 新型 機械手臂
2024-10-01 M661429 新型 晶圓定位裝置
2024-10-01 M661424 新型 晶圓定位裝置
2024-06-21 I846579 發明 晶圓定位裝置與方法
2024-04-21 M654593 新型 晶圓映射機構及包含其之晶圓裝卸機