三和技研股份有限公司 相關專利權資料
總計 17 筆資料
資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。
公告日 | 公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
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2024-04-21 | M654492 | 新型 | 具旋轉與限位功能的基板夾持機構及包含其之基板搬送裝置 |
2024-03-01 | M652425 | 新型 | 真空中機械手臂防甩油裝置 |
2024-02-11 | M651478 | 新型 | 模組式馬達驅動主卡及系統 |
2023-12-21 | M649744 | 新型 | 用於自動化設備的資料處理模組與系統 |
2023-12-11 | M649471 | 新型 | 具內部氣體循環功能的儲存載具儲存庫及使用其的半導體製程設備系統 |
2023-12-11 | M649412 | 新型 | 馬達的異常/老化判讀裝置及使用其的自動化設備 |
2023-12-01 | M649067 | 新型 | 高剛性的支撐架及使用其的設備前端模組(EFEM)裝置 |