友威科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 19 筆資料

資料來源為:經濟部智慧財產局開放資料 API。


公告日 公告號 專利類別 專利名稱
2023-10-21 M647658 新型 電漿製程系統的載體黏貼機構
2023-10-21 M647631 新型 雙效電漿蝕刻的連續式製程機構
2023-10-21 I819623 發明 電漿製程系統的載體吸附機構
2023-10-21 I819621 發明 可抗污染之連續式電漿製程系統
2023-10-01 M646905 新型 具緩衝處理的真空烘烤機構
2023-10-01 I817614 發明 具定位電極的連續電漿製程系統
2023-10-01 I817606 發明 雙電極連續式電漿製程系統
2023-08-11 M644922 新型 具冷卻緩衝腔的線性電漿製程機構
2023-08-11 M644921 新型 具升降式冷卻緩衝的線性電漿製程機構